一种光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种基于SU-8光刻胶的光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法。该传感器在硅基底上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个“卍”字型悬臂梁-质量块结构，质量块的下表面与光纤的端面形成法布里-珀罗腔。制作方法为：在经过表面处理过的硅片正面通过两次对准光刻形成所需SU-8光刻胶结构；通过湿法腐蚀法腐蚀硅片的背面直至蚀穿，得到悬空“卍”字型结构；采用低温阳极键合技术将硅片与玻璃环紧密键合，并粘合到插有光纤的法兰盘上；从被腐蚀的硅片端注入硅油至满，在硅片顶端平插入玻璃片，并用环氧树脂胶粘合。本发明结构新颖，尺寸小，低频响应较为突出，抗电磁干扰，可用于发电机组的振动监测和故障诊断、机床的运动精度测量等应用中。

主权项

一种光纤法布里‑珀罗加速度传感器，其特征在于：传感器的法布里‑珀罗干涉腔由SU‑8光刻胶的“卍”字型悬臂梁‑质量块结构和单模光纤构成，并封装在充满硅油的封装装置中，所述“卍”字型悬臂梁‑质量块结构的表面镀有一层增反材料膜。