一种超低氧铬片的制备方法

摘要

本发明涉及超低氧铬片的制备方法，其包括（1）将电解铬片加入到坩埚中，关闭炉门，将炉内环境真空度抽至5.0×10-3Pa或以下，充入1atm纯度大于99.9%的氢气，再将炉内环境真空度抽至5.0×10-3Pa或以下；（2）将炉内环境温度升至500℃~900℃，持续保持环境真空度为5.0×10-3Pa或以下，保温1~2小时；（3）充入氢气，使炉内环境氢气气压为1~50Pa，再将炉内环境温度升至1000℃~1500℃，保温1~10小时，降至室温，即得超低氧铬片，其中持续通入氢气以保持炉内环境气压为1~50Pa。本发明可得氧含量低于500ppm的超低氧铬片，是溅射靶材及特种合金的理想的铬片原料。

主权项

一种超低氧铬片的制备方法，其特征在于：所述制备方法以纯度大于等于99.95%的电解铬片为原料，通过氢气还原法制备得到所述超低氧铬片，所述的电解铬片的厚度为0.2～3mm，所述制备方法包括依次进行的下列步骤：（1）、将所述电解铬片加入到还原炉内的氧化铝坩埚中，至电解铬片上表面距离坩埚上边沿10～20mm，停止加料，关闭炉门，将炉内环境真空度抽至5.0×10‑3Pa或以下，充入1atm纯度大于99.9%的氢气，再将炉内环境真空度抽至5.0×10‑3Pa或以下；（2）、按150～250℃/h的升温速率将炉内环境温度升至500℃～900℃，持续保持环境真空度为5.0×10‑3Pa或以下，在500～900℃下保温1～2小时；（3）、充入纯度大于99.9%的氢气，使炉内环境氢气气压为1～50Pa，再按50～200℃/h的升温速率将炉内环境温度升至1100℃～1300℃，升温结束后，保温1～10小时，然后以200～300℃/h的降温速率降温至室温，即得氧含量低于500ppm的超低氧铬片，其中在所述升温、保温和降温的过程中，均持续通入氢气，以保持炉内环境气压为5～15Pa。