蒸发源装置及真空蒸镀装置、以及有机EL显示装置的制造方法

摘要

本发明提供能在大型基板上快速地形成膜厚均匀且有机EL上部电极用的铝金属薄膜，并能长时间连续运转的真空蒸镀装置及成膜装置。通过使用陶瓷制的坩埚防止铝的攀爬，并使用在横向上操作沿纵向排列有在相同方向上以规定的角度倾斜的蒸发源（3-1）的蒸发源列（3-2）并进行蒸镀的机构，能够相对于大型的纵置基板（1-1）快速形成有机EL上部电极用金属薄膜，并使用材料供给机进行长时间的连续成膜。

主权项

一种蒸发源装置，其特征在于，具备：蒸发源列，其由多个在纵向上排列的蒸发源构成，各蒸发源的一部分为了喷出蒸气而开口，各自的长轴相对于水平方向以规定的角度在相同方向上倾斜；以及多个膜厚监视器，其与各个上述蒸发源对应地设置为与上述蒸发源相同的数量，对来自各个上述蒸发源的蒸镀材料的膜厚进行计测。