一种用于蓝宝石领域的CMP抛光液外部循环系统

摘要

本实用新型公开了一种用于蓝宝石领域的CMP抛光液外部循环系统，包括抛光液管道，所述抛光液管道与抛光液桶连通，在所述抛光液管道上依次设置推进泵A、粗过滤装置、细过滤装置及推进泵B。将所述推进泵B与三通阀连接，三通阀的端口A与CMP设备连接，三通阀的端口B与抛光液桶连通，三通阀的端口A上设有第一阀门，三通阀的端口B上设有第二阀门。当CMP设备不运行的时候，打开第二阀门，将三通阀的端口B与抛光液桶连通，推进泵A和推进泵B保持工作，实现抛光液的外部循环。本实用新型利用将三通阀将抛光液管道与抛光液桶实现循环连通，实现了抛光液的外部循环，避免了抛光液因为CMP设备不运行而结晶的问题。

主权项

一种用于蓝宝石领域的CMP抛光液外部循环系统，包括抛光液管道（1），所述抛光液管道（1）与抛光液桶连通，所述抛光液管道（1）上依次设置推进泵A（2）、粗过滤装置（3）、细过滤装置（4）及推进泵B（5），其特征在于：所述推进泵B（5）与三通阀（6）连接，三通阀（6）的端口A（7）与CMP设备连接，三通阀（6）的端口B（9）与抛光液桶连通，三通阀（6）的端口A（7）上设有第一阀门（8），三通阀（6）的端口B（9）上设有第二阀门（10）。