发明名称 |
一种集成功率晶体管的金属布局结构 |
摘要 |
本申请公开了一种集成功率晶体管的金属布局结构。所述集成功率晶体管的金属布局结构包括:第一金属层,第二金属层和第三金属层,其中所述第一金属层通过通孔连接至第二金属层;所述第二金属层通过超级通孔连接至第三金属层。本申请公开的集成功率晶体管的金属布局结构减小了金属连接阻抗,提高了系统性能。 |
申请公布号 |
CN203205413U |
申请公布日期 |
2013.09.18 |
申请号 |
CN201220719696.X |
申请日期 |
2012.12.24 |
申请人 |
成都芯源系统有限公司 |
发明人 |
徐鹏 |
分类号 |
H01L23/528(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/528(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
王波波 |
主权项 |
一种集成功率晶体管的金属布局结构,其特征在于,所述集成功率晶体管的金属布局结构包括: 第一金属层,第二金属层和第三金属层,其中 所述第一金属层通过通孔连接至第二金属层; 所述第二金属层通过超级通孔连接至第三金属层。 |
地址 |
611731 四川省成都市高新西区出口加工区(西区)科新路8号 |