发明名称 一种用于检测密闭环境温度变化的方法
摘要 本发明公开了一种用于检测密闭环境温度变化的方法,主要采用激光直写的方式制作出一种温度传感器,温度传感器包括衬底和导电材料两个部分,根据导电材料的电阻率随密闭环境变化可得知其温度变化。利用本发明,能够及时、方便地检测密闭环境的温度变化,与其他传统方法相比,成本低廉,便于操作。
申请公布号 CN103308204A 申请公布日期 2013.09.18
申请号 CN201310186172.8 申请日期 2013.05.20
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 晏诗恋;林学春;侯玮;于海娟;赵树森;孙伟;李梦龙
分类号 G01K7/16(2006.01)I 主分类号 G01K7/16(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 宋焰琴
主权项 一种检测密闭环境温度变化的方法,包括如下步骤:将导电材料沉积在衬底上,用激光加热的方式固化导电材料,即完成了温度传感器的制作;将所述温度传感器放入所需要探测的密闭环境,根据导电材料电阻率对温度的实时变化规律,通过检测导电材料的电阻变化来得到密闭环境的温度变化。
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