发明名称 |
一种用于检测密闭环境温度变化的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种用于检测密闭环境温度变化的方法,主要采用激光直写的方式制作出一种温度传感器,温度传感器包括衬底和导电材料两个部分,根据导电材料的电阻率随密闭环境变化可得知其温度变化。利用本发明,能够及时、方便地检测密闭环境的温度变化,与其他传统方法相比,成本低廉,便于操作。 |
申请公布号 |
CN103308204A |
申请公布日期 |
2013.09.18 |
申请号 |
CN201310186172.8 |
申请日期 |
2013.05.20 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
晏诗恋;林学春;侯玮;于海娟;赵树森;孙伟;李梦龙 |
分类号 |
G01K7/16(2006.01)I |
主分类号 |
G01K7/16(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
宋焰琴 |
主权项 |
一种检测密闭环境温度变化的方法,包括如下步骤:将导电材料沉积在衬底上,用激光加热的方式固化导电材料,即完成了温度传感器的制作;将所述温度传感器放入所需要探测的密闭环境,根据导电材料电阻率对温度的实时变化规律,通过检测导电材料的电阻变化来得到密闭环境的温度变化。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |