发明名称 用于SRAM电路的结构和方法
摘要 本发明提供在半导体衬底中形成的集成电路。集成电路包括:具有第一单元尺寸的第一静态随机存取存储器(SRAM)单元;以及具有大于第一单元尺寸的第二单元尺寸的第二SRAM单元。第一SRMA单元包括第一n型场效应晶体管(nFET),每一个都具有第一栅叠层。第二SRAM单元包括第二nFET,每一个都具有不同于第一栅叠层的第二栅叠层。本发明还提供了用于SRAM电路的结构和方法。
申请公布号 CN103310834A 申请公布日期 2013.09.18
申请号 CN201310002598.3 申请日期 2013.01.05
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 廖忠志
分类号 G11C11/413(2006.01)I;H01L27/11(2006.01)I;H01L21/8244(2006.01)I 主分类号 G11C11/413(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;孙征
主权项 一种在半导体衬底中形成的集成电路,包括:第一静态随机存取存储器(SRAM)单元,具有第一单元尺寸;以及第二SRAM单元,具有第二单元尺寸,所述第二单元尺寸大于所述第一单元尺寸,其中:所述第一SRAM单元包括每一个均具有第一栅叠层的第一n型场效应晶体管(nFET),以及所述第二SRAM单元包括每一个均具有第二栅叠层的第二nFET,所述第二栅叠层不同于所述第一栅叠层。
地址 中国台湾新竹