封闭式销用陶瓷支板

摘要

封闭式销用陶瓷支板，主要解决现有的产品结构容易变形、各处支点高低不一的技术问题。本实用新型采用等边三角闭合式，其结构是针对在设备上共设有三处位于等圆周上销的结构形式。该结构形式利用三点决定一个圆，来实现对晶圆的支撑。它包括支板使用侧和支板固定侧。采用陶瓷材料，充分利用了陶瓷强度高，高温变形小等优势。销用陶瓷支板是通过销孔来实现与升降机构的定位，通过安装通孔来实现与升降机构的紧固连接。具有结构相对简单，强度高，性能好的特点。主要应用于半导体镀膜设备中，属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域。

主权项

一种封闭式销用陶瓷支板，包括支板使用侧（15）和支板固定侧（18），其特征在于：支板使用侧（15）是由分支面A（2）、分支面B（4）及分支面C（8）组成，支板使用侧（15）上的销支撑用面A（1）、销支撑用面B（3）及销支撑用面C（7）是在支板使用侧（15）的基础上下沉而制成的，三个销支撑用面上分别有位于同一同心圆上的三个支撑点，其销支撑用面位于同一平面上，拥有相同的平面度；支板固定侧（18）由分支面D（9）、分支面E（11）共同组成，固定端处设有圆柱台（20），并在端面设有倒角（21），其端面（14）是整个销支板最厚的地方，上述支板固定侧（18）上设有圆柱台（20），其内设有一个沉孔B（21），在支板使用侧也设有一沉孔A（16），上述圆柱台（20）内部设有销孔（6）和安装通孔（5）。