| 摘要 |
Sposób pomiaru parametrów powierzchni, takich jak kierunkowosc struktury geometrycznej, stopien anizotropii, wady materialowe powierzchni i jej chropowatosc, polega na dokonywaniu pomiarów swiatla rozproszonego na badanej powierzchni przez wszystkie segmenty (131, ..., 13n) wielosegmentowego fotodetektora (9), a okreslenie parametrów powierzchni (10) nastepuje przez porównanie wyników otrzymanych ze wszystkich segmentów (131, ..., 13n) fotodetektora (9). Urzadzenie posiada zródlo swiatla (1) monochromatycznego, z którego wiazka promieniowania (2) pada na badana powierzchnie (10) przez element swiatlodzielacy (5), wspólpracujacy z fotodetektorem (6) pomiaru wiazki odniesienia i z fotodetektorem (11) pomiaru wiazki promieniowania odbitego oraz jest zaopatrzone w nieruchomy fotodetektor (9) swiatla rozproszonego na badanej powierzchni (10), z osiowym otworem (8), przez który przechodzi wiazka promieniowania (2). Fotodetektor (9) sklada sie z wielu odrebnych, jednakowych segmentów (131, ..., 13n), z których kazdy jest polaczony z ukladem przeliczajacym (15) za posrednictwem wlasnego, niezaleznego ukladu (141, ..., 14n) wzmacniania i przetwarzania. Korzystnie fotodetektor (9) ma postac kola i sklada sie z czterech jednakowych segmentów (131, ..., 134), odpowiadajacych wycinkowi kola. Urzadzenie moze byc wyposazone w element tlumiacy z powierzchnia pochlaniajaca swiatlo o dlugosci fali wykorzystywanej do pomiaru, umieszczony ponad badana powierzchnia (10), przy czym element tlumiacy jest wyposazony w otwór znajdujacy sie w osi wiazki promieniowania (2). Ponadto urzadzenie moze byc wyposazone w skupiajaca soczewke ze stozkowym otworem. |
