发明名称 用于电浆清洁处理之具改良通用性的物件
摘要 本发明揭示一种适于一电浆清洁器件中之一电浆清洁处理的物件,该物件包括:一第一外部表面区域;一第二外部表面区域,其中该物件经建构及配置以与一可卸除式盖罩合作,使得该盖罩可连接至该物件以覆盖该第二外部表面区域,且其中与该可卸除式盖罩连接之该物件经调适以在该电浆清洁器件中加以清洁,使得不将该电浆清洁器件曝光至该第二外部表面区域之粒子,且其中在该电浆清洁器件中清洁该第一外部表面区域。
申请公布号 TWI408513 申请公布日期 2013.09.11
申请号 TW099142226 申请日期 2010.12.03
申请人 ASML荷兰公司 荷兰 发明人 玛奇恩 乔纳恩斯;威图薛克 海伯特
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 荷兰