用于镀膜制程的气体释出装置

摘要

本实用新型有关于一种用于镀膜制程的气体释出装置，包含有二相互对接的板件，各板件具有一进气槽，进气槽的顶端形成一进气口，进气槽的底端衔接一第一分配槽，第一分配槽的两端分别衔接一第二分配槽，各第二分配槽的两端分别衔接一第三分配槽，各第三分配槽的两端分别衔接一第四分配槽，各第四分配槽的两端分别衔接一第五分配槽，各第五分配槽的底端形成一排气口。藉此，蒸镀源的气体进入进气槽之后会依序通过各个分配槽，最后再从各排气口释出大致相同的气体量，以提高薄膜厚度的均匀性而提升镀膜制程的质量。

主权项

一种用于镀膜制程的气体释出装置，其特征在于，包含有：二板件，分别具有一顶面、一底面，以及一邻接该顶、底两面的接合侧面，该二板件藉由该二接合侧面相互接合在一起，各个板件的接合侧面具有一进气槽，该进气槽的顶端于该顶面形成一进气口，该进气槽的底端衔接一第一分配槽，该第一分配槽的两端分别衔接一第二分配槽，各个第二分配槽的两端分别衔接一第三分配槽，各个第三分配槽的两端分别衔接一第四分配槽，各个第四分配槽的两端分别衔接一第五分配槽，各个第五分配槽的底端于该底面形成一排气口。