载体传输器以及利用其传输基板载体的方法

摘要

本发明提供了用于自动传输基板载体的载体传输器以及利用其传输基板载体的方法。载体传输器包括可拆卸地耦接到基板载体的夹具，该基板载体包括至少一个敞开门，多个基板通过该敞开门装载到基板载体中或从基板载体卸载。载体传输器还包括门阻挡单元，该门阻挡单元固定到夹具并配置为转换至阻挡位置，该阻挡位置为门阻挡单元的部分地阻挡所述门的位置从而在基板载体的自动传输期间防止多个基板从基板载体分离。

主权项

一种载体传输器，用于自动传输基板载体，所述载体传输器包括：夹具，可拆卸地耦接到所述基板载体，所述基板载体包括至少一个敞开门，多个基板通过所述敞开门装载到所述基板载体中或从所述基板载体卸载；以及门阻挡单元，固定到所述夹具并配置为转换至阻挡位置，所述阻挡位置为所述门阻挡单元部分地阻挡所述门从而在所述基板载体的自动传输期间防止所述多个基板从所述基板载体分离的位置。