用于检测和补偿在压力测量单元上的快速温度变化的方法

摘要

本发明涉及检测和补偿压力测量单元上的快速温度变化的方法，借助设置在施加了压力的膜上的第一传感器装置产生与膜的偏转成比例的测量信号，借助设置在施加了压力的膜上的第二传感器装置产生与膜的偏转成比例的参考信号及借助微处理器根据测量信号产生测量值及根据参考信号产生所属的参考值。根据本发明，依据测量值将参考值期望值的容差带存储在微处理器的存储器中，及将当前产生的参考值与容差带中的期望值比较，及在一致时检测由压力引起的膜偏转，并输出测量值作为所测量的压力的测量值，或在不一致时检测通过快速温度变化引起的膜偏转，然后用校正值校正测量值，并输出校正的测量值作为测量的压力的测量值。

主权项

一种用于检测和补偿压力测量单元上的快速温度变化的系统，所述系统包括(a)第一传感器装置(Cmess)，设置在被施加有压力的膜上，用于产生取决于膜的偏转的测量信号，所述第一传感器装置的电容式传感器(Cmess)被设置在膜的中心处，以采集膜的中心区域中的偏转，(b)第二传感器装置，设置在所述膜上，用于产生取决于膜的偏转的参考信号，所述第二传感器装置的电容式传感器(Cref)被设置在膜的边缘区域中，以采集膜的边缘区域中的偏转，(c)微处理器，用于根据所述测量信号产生一组测量值(Cm)，并且根据所述参考信号产生一组相应的参考值(Cr)，以及(d)所述微处理器的存储器，用于依据所述测量值存储所述参考值(Cr)的期望值的容差带，并且其中当前产生的参考值(Cr)与所述容差带中的期望值相比较，并且：‑在一致时，检测到由于压力引起的膜偏转，并且所述测量值(Cm)作为所测量的压力的测量值被输出，或者‑在不一致时，检测到由快速温度变化引起的膜偏转，用校正值校正所述测量值(Cm)，并且输出校正后的测量值作为所测量的压力的测量值。