消耗量测量方法

摘要

本发明提供能够在所期望的时机测量耗材的消耗量的消耗量测量方法。对具有暴露在等离子体中的上表面(25a)及与基座(12)相对的下表面(25b)的聚焦环(25)的消耗量进行测量时，将具有与基座相对的下表面(57b)及与聚焦环相对的上表面(57a)的基准片(57)与聚焦环热耦合，与上表面(25a)及下表面(25b)垂直地向聚焦环照射低相干光并计测低相干光的沿厚度方向在聚焦环内往返的第1光路长度，与上表面(57a)及下表面(57b)垂直地向基准片(57)照射低相干光并计测低相干光的沿厚度方向在基准片(57)内往返的第2光路长度，基于第1光路长度与第2光路长度的比率算出聚焦环的消耗量。

主权项

一种消耗量测量方法，其是如下耗材的消耗量测量方法，该耗材具有相互平行的、暴露在使耗材消耗的环境中的耗材消耗面及暴露在不使上述耗材消耗的环境中的耗材非消耗面，该消耗量测量方法的特征在于，将非耗材与上述耗材热耦合，该非耗材由与上述耗材相同的材料构成，其具有相互平行的、暴露在不使该非耗材消耗的环境中的第1非耗材非消耗面及第2非耗材非消耗面，与上述耗材消耗面及上述耗材非消耗面垂直地向上述耗材照射低相干光，接收来自上述耗材消耗面及上述耗材非消耗面的上述低相干光的反射光并计测上述低相干光的沿厚度方向在上述耗材内往返的第1光路长度，与上述第1非耗材非消耗面及上述第2非耗材非消耗面垂直地向上述非耗材照射低相干光，接收来自上述第1非耗材非消耗面及上述第2非耗材非消耗面的低相干光的反射光并计测上述低相干光的沿厚度方向在上述非耗材内往返的第2光路长度，基于上述第1光路长度与上述第2光路长度的比率，算出上述耗材的消耗量。