一种热源系统

摘要

本发明提供一种热源系统，所述热源系统包括加热系统和热分配系统，所述加热系统包括气体提供单元和温度控制单元，其中气体提供单元用于提供流动气体；温度控制单元包含基板，基板上形成有多个通孔，以允许所述流动气体通过，针对所述多个通孔的至少一部分设置有温度调节装置，所述温度调节装置可独立地调节通过对应通孔的流动气体的温度；所述热分配系统包括分隔装置，将所述热分配系统划分为多个区域，使得通过所述多个通孔的流动气体分别在所述多个区域中到达有待加热的物体。本发明实施例所提供的热源能够根据需要提供非均匀加热。

主权项

一种热源系统，包括加热系统，所述加热系统包括：气体提供单元和温度控制单元，所述气体提供单元用于提供流动气体；所述温度控制单元包含基板，所述基板上形成有多个通孔，以允许所述流动气体通过，针对所述多个通孔中的至少一部分设置有多个温度调节装置，所述多个温度调节装置中的至少一个相对于其他温度调节装置独立地调节通过对应通孔的流动气体的温度；以及热分配系统，包括分隔装置，所述分隔装置将所述热分配系统划分为多个区域，使得通过所述多个通孔的流动气体分别在所述多个区域中到达有待加热的物体。