基板挠度测试方法及系统

摘要

本发明公开了一种基板挠度测量方法及系统，该系统包括：气浮台；可自由移动的多个支撑头，测量时所述多个支撑头抬起基板；可沿基板弯曲方向上下移动的第一激光发生器和第一信号接收器，第一激光发生器发出的激光能够穿过所述基板弯曲时的最低点；控制器，用于控制各个支撑头以及第一激光发生器和第一信号接收器的移动；并根据一次测量过程中，第一激光发生器和第一信号接收器上升高度及抬起基板后，支撑头顶部相对于第一激光发生器和第一信号接收器的起始位置的升起高度，计算出所述基板的挠度。本发明实施例在不直接接触基板表面的基础上，提高了基板挠度的在线测量的准确度，降低了显示面板生产过程中发生碎片的几率。

主权项

一种基板挠度测量系统，其特征在于，包括：气浮台，用于放置所述基板；可自由移动的多个支撑头，测量时所述多个支撑头抬起所述基板，在工作状态下，所述基板向所述气浮台表面方向弯曲，所述多个支撑头呈矩形排列，所述矩形的两个邻边分别平行于待测基板两个邻边，其中，所述矩形的第一边及与第一边相对的第三边上仅设置有两个支撑头，第二边及与第二边相对的第四边上设置有至少两个支撑头；可沿所述基板弯曲方向上下移动的第一激光发生器和第一信号接收器，所述第一信号接收器接收所述第一激光发生器所发出的激光信号，第一激光发生器发出的激光能够穿过所述基板弯曲时的最低点；控制器，用于控制各个支撑头以及第一激光发生器和第一信号接收器的移动；并根据一次测量过程中，所述第一激光发生器和第一信号接收器上升高度，以及抬起所述基板后，所述支撑头顶部相对于所述第一激光发生器和第一信号接收器的起始位置的升起高度，计算出所述基板的挠度。