硅片切削液中的碳化硅、硅微粉和聚乙二醇的回收方法

摘要

本发明公开了一种硅片切削液中的碳化硅、硅微粉和聚乙二醇的回收方法，通过将切削液搅拌、过滤、分离出固体和液体两种组分，将固体组分加水搅拌均匀、过滤，得到液体和固体；固体水洗过滤后得到的固体，再经酸洗，烘干，得到硅粉；固体分离成液相和固相，固相漂洗后，经碱洗、酸洗、烘干、筛选得到碳化硅成品；液体组分分离出固相和液相，液相加入脱色剂、助滤剂，经离子交换并蒸馏，得到聚乙二醇产品，该方法操作方便，回收过程，工艺清洁、安全，对环境无污，且碳化硅的回收率可达到80％以上，聚乙二醇的回收率可达到90％以上，硅的回收率可达到75％以上。

主权项

一种硅片切削液中的碳化硅、硅微粉和聚乙二醇的回收方法，其特征在于，包括如下步骤：A、将切削液搅拌均匀，经过目数为10‑100目的筛网过滤后，再经离心机分离出固体组分和液体组分；B、固体组分中加入水搅拌均匀形成固液混合物，水∶固体组成＝1‑5∶1(以质量份计算)；通过压滤机将固定混合物中的固体和液体分离，使固体的含水量达到3‑5％；C、将步骤B过滤得到的固体进行分离得到碳化硅料及硅料液；D、提取硅微粉，将步骤C中收集得到的硅料液进行沉淀得到硅料，再对硅料进行酸洗、过滤，将过滤后的固体物质进行烘干，得到硅微粉；E、提取碳化硅：E1、将步骤C中得到的碳化硅料进入水力漩流器，进行固液分离，将固体部分进入真空带式过滤机进行过滤和漂洗，漂洗后的固体部分进行碱洗、酸洗、精制提纯得到碳化硅半成品；E2、将碳化硅半成品进行脱水，得到含水量为5‑20％(按质量百分比)的碳化硅滤体，进一步烘干，使碳化硅含水量小于0.1％，筛除大颗粒物质后，到碳化硅后成品；F、提取聚乙二醇，F1、将步骤A液体组分离，得到固体和液体，液体中加入0.1‑2％脱色剂和0.1‑0.5％助滤剂，在40‑80度下连续搅拌，搅拌时间为0.2‑2小时，搅拌速度为60‑120转/min；F2、将经步骤F1得到的液体进行过滤；F3、将经步骤F2过滤后的液体进入离子交换系统，进料温度控制在0‑40度；F4、将经离子交换后的液体过滤后进行蒸馏，得含水量小于0.5％的聚乙二醇 蒸馏体；F5、将聚乙二醇蒸馏体冷却，形成聚乙二醇产品。