发明名称 |
高精密温度控制装置的参数自整定方法 |
摘要 |
本发明提出一种高精密温度控制装置及其参数自整定方法,所述装置包括:液槽;加热器,位于所述液槽内;至少一个流量传感器或至少一个压力传感器,位于所述循环部分的管路上;液位传感器,位于所述液槽内,且位于所述加热器一侧;流量泵,和液槽相连;至少一个温度传感器,位于液槽内或液槽的输出管路上;制冷器,和所述液槽相连;控制部分,包括控制器和触摸屏,控制器和触摸屏相连,控制器和加热器、第一传感器、液位传感器、温度传感器、制冷器分别相连。本发明提供的装置和方法解决了温控参数与实际工况的匹配问题,扩展了温度控制设备的应用范围,降低了成本。 |
申请公布号 |
CN102213964B |
申请公布日期 |
2013.09.11 |
申请号 |
CN201010143659.4 |
申请日期 |
2010.04.09 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
罗晋;余小虎;金敏;余斌;聂宏飞 |
分类号 |
G05D23/20(2006.01)I;G05B11/42(2006.01)I |
主分类号 |
G05D23/20(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种高精密温度控制装置的参数自整定方法,其特征在于包括以下步骤:控制器接收用户自整定指令;以默认的温控参数启动温控过程;检测动态响应过程的峰值和稳定时间;根据所述峰值计算超调量,根据所述超调量调节比例参数;根据所述峰值计算震荡周期,根据所述震荡周期再次调节所述比例参数;根据所述峰值计算衰减率,根据所述衰减率调节积分参数;根据温度变化达到±0.02℃的稳定时间,调节所述比例参数和所述积分参数;根据温度变化达到±0.01℃的稳定时间,再次调节所述比例参数和所述积分参数;获得所述比例参数和所述积分参数。 |
地址 |
201203 上海市张东路1525号 |