发明名称 |
潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜机 |
摘要 |
一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜机,涉及真空镀膜机,包括电极、磁路、收卷辊、放卷辊、换向辊、张紧辊、真空系统、双向进给控制单元、进气管和电源组成,所述真空系统主要由真空室构成,在所述真空室内设置两组对称的电极结构和磁路结构,相邻两电极之间形成磁场,且电极、磁路和进气管沿真空室轴线的上下对称布置,在高频放电的作用下,将电子离化率提高到较高水平。有益效果是可以实现化学气相沉积的三个基本过程,即反应物的输运过程,化学反应过程和去除反应副产品过程,得到镀层均匀性优良、相对已知镀膜方法更为高的沉积率、大面积、平滑、较高附着率,且具有较低温度过程的镀膜。 |
申请公布号 |
CN101886253B |
申请公布日期 |
2013.09.11 |
申请号 |
CN201010210467.0 |
申请日期 |
2010.06.25 |
申请人 |
合肥科烨电物理设备制造有限公司 |
发明人 |
祝宁 |
分类号 |
C23C16/44(2006.01)I;C23C16/503(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/44(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜机,包括电极、磁路、收卷辊、放卷辊、换向辊、张紧辊、真空系统、双向进给控制单元、进气管和电源组成,所述真空系统主要由真空室构成,其特征在于:在所述真空室内设置两组对称的电极结构和磁路结构,相邻两电极之间形成磁场,且电极、磁路和进气管沿真空室轴线的上下对称布置,在高频放电的作用下,将电子离化率提高到较高水平。 |
地址 |
230088 安徽省合肥市高新区长江西路2221号循环经济院A区402-404室 |