摘要 |
1. Способ нанесения двухкомпонентных хром-алюминиевых покрытий на внутренние полости охлаждаемых рабочих лопаток газовых турбин, включающий последовательное осаждение слоев хрома и алюминия с последующим высокотемпературным отжигом в вакууме, отличающийся тем, что осаждение из газовой фазы слоев хрома выполняют при термическом разложении гексакарбонила хрома Cr(СО)и алюминия при термическом разложении триметилалюминия Al(СН), при этом предварительно формируют три температурные зоны вначале для осаждения хрома, а затем для осаждения алюминия.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что осаждение слоев хрома и алюминия выполняют при давлении в вакуумной камере 1,0-1,2·10мм рт.ст.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что при осаждении хрома гексакарбонил хрома Cr(СО)нагревают до температуры 110-120°С, в промежуточной зоне обеспечивают эту же температуру, а в зоне осаждения устанавливают температуру 400-450°С.4. Способ по п.3, отличающийся тем, что слой хрома формируют в течение не менее 2-3 ч.5. Способ по п.1, отличающийся тем, что при осаждении алюминия триметилалюминия Al(CH)нагревают до температуры 100-110°С, в промежуточной зоне обеспечивают эту же температуру, а в зоне осаждения устанавливают температуру 300-350°С.6. Способ по п.5, отличающийся тем, что слой алюминия формируют в течение не менее 5-6 ч.7. Устройство для нанесения покрытия на детали газовой турбины, содержащее реакционную камеру, в которой установлено средство для размещения обрабатываемых деталей, и средства для создания необходимого температурного поля, отличающееся тем, что реакционная камера, установленная внутри вакуумной камеры, разделена теплоизолирующей вакуумноплотно� |