摘要 |
Halbleitermodul, mit einer integrierten Schaltung (14), einer Umverdrahtungsschicht (38) zum externen Anschließen der integrierten Schaltung (14), und wenigstens einem im Halbleitermodul (10) integrierten Wellenleiter (18) für Radarsignale mit einer Leiterstruktur (20, 22, 24), die ein Inneres des Wellenleiters (18) seitlich umgibt, wobei die integrierte Schaltung (14) und der wenigstens eine Wellenleiter (18) zumindest bereichsweise in ein Gehäusematerial des Halbleitermoduls (10) eingebettet sind; sowie Radarsensor, Kraftfahrzeug-Radarsystem mit einem solchen Halbleitermodul, und Verfahren zur Herstellung eines Halbleitermoduls.
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