发明名称 种子辅助液相合成一维纳米阵列ZnO薄膜方法
摘要 本发明公开一种以种子辅助法液相合成一维纳米阵列ZnO薄膜的方法。该方法总体上分为两步:①在表面洗净的FTO导电玻璃上溅射一层Zn(50~200nm),然后放入马弗炉中煅烧(300~500℃),便可得到一层致密的ZnO种子层;②将第一步所得到的具有种子层的FTO放到锌盐溶液中进一步水解得到所需的一维纳米阵列ZnO。本方法中种子层的制备不需要溶液的配置以及旋涂,解决了成膜不均匀的问题。后续的水解过程只需在短时间内即可合成出所需的ZnO,且得到的ZnO结晶性较好,方法简单,便于大规模生产。
申请公布号 CN103276445A 申请公布日期 2013.09.04
申请号 CN201310195088.2 申请日期 2013.05.23
申请人 南京理工大学 发明人 王雄;张艳鸽;李明
分类号 C30B28/04(2006.01)I;C30B29/64(2006.01)I;C30B29/16(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)N 主分类号 C30B28/04(2006.01)I
代理机构 南京理工大学专利中心 32203 代理人 朱显国
主权项 一种种子辅助液相合成一维纳米阵列ZnO薄膜方法,其特征在于包括以下具体步骤:第一步:在FTO基底上溅射厚度50~200nmZn,放入马弗炉中煅烧得到ZnO种子层;第二步:将0.035~0.05mol/L锌盐溶液搅拌滴入氨水直至溶液澄清;第三步:将混合溶液转移到反应釜中,将ZnO种子层置于溶液中,在50~90℃烘箱中反应3~10h即可;第四步:将反应得到的产物取出、清洗、烘干。
地址 210094 江苏省南京市孝陵卫200号