一种具有MIS电容结构的表面等离子体激元波导

摘要

本发明是一种具有MIS电容结构的表面等离子体激元波导，它由自上而下排列的金属层(1)、绝缘材料层(2)、掺杂半导体层(3)和衬底(4)构成，所述衬底通过引线接地，金属层通过引线接外电压；在适当电压下，从掺杂半导体层(3)与绝缘材料层(2)的界面到掺杂半导体层(3)内部出现复介电函数实部εr从负到正的变化，εr为负的区域具有类似金属的特性，掺杂半导体层(3)与绝缘材料层(2)的界面上，以及正、负εr的交界面上均可支持SPP模式，后者与金属层(1)与绝缘材料层(2)界面支持的SPP模式耦合形成混合SPP模式。本发明利用半导体的可控性来实现简便、高效的SPP波调控和解决光场限制与损耗之间的矛盾。

主权项

一种表面等离子体激元波导，其特征是一种具有MIS电容结构的表面等离子体激元波导，该波导由自上而下排列的金属层(1)、绝缘材料层(2)、掺杂半导体层(3)和衬底(4)构成，其中衬底(4)通过引线接地，金属层(1)通过引线接外电压。