一种多晶硅铸锭炉的热场结构

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉的热场结构，包括炉体、置于所述炉体内的隔热笼、置于所述炉体内用以放置坩埚的导热块、固定在所述炉体内支撑所述导热块的支柱，所述隔热笼包括侧隔热笼、隔热顶板和隔热底板，所述导热块位于所述隔热顶板与隔热底板之间，所述导热块与所述隔热底板之间还设置有石墨板。上述多晶硅铸锭炉的热场结构，在导热块的下方设置有石墨板，在长晶阶段，热量从导热块底部辐射至石墨板，由于石墨板的导热率高，石墨板的横向温度梯度很小，热量通过石墨板能够均匀辐射，能最大程度降低铸锭过程中的横向温度梯度，从而减少硅锭中的应力。

主权项

一种多晶硅铸锭炉的热场结构，包括炉体、置于所述炉体内的隔热笼、置于所述炉体内用以放置坩埚的导热块、固定在所述炉体内支撑所述导热块的支柱，所述隔热笼包括侧隔热笼、隔热顶板和隔热底板，所述导热块位于所述隔热顶板与隔热底板之间，其特征在于，所述导热块与所述隔热底板之间还设置有石墨板。