尖锥形氧化锌/氧化镍异质结二极管的制备方法

摘要

本发明涉及一种异质结紫外激光二极管制备技术，特指结合镀膜技术和飞秒激光技术，制备尖锥形p-NiO/n-ZnO异质结。本发明先利用热氧化在镍片上形成NiO层，然后利用原子层沉积方法制备ZnO层，再在n-型ZnO层外利用溅射方法形成氧化铟锡(ITO)透明上电极，最后利用飞秒激光加工技术在覆盖有NiO/ZnO/ITO层的镍片上形成尖锥形阵列，即形成尖锥形p-NiO/n-ZnO异质结，在镍片底部和ITO上加上电压，即可实现电致发光。

主权项

尖锥形氧化锌/氧化镍异质结二极管的制备方法，其特征在于：先利用热氧化在镍片上形成NiO层，然后利用原子层沉积方法制备ZnO层，再在n‑型ZnO层外利用溅射方法形成氧化铟锡透明上电极，最后利用飞秒激光加工技术在覆盖有NiO/ZnO/ ITO层的镍片上形成尖锥形阵列，即形成尖锥形p‑NiO/n‑ZnO异质结，在镍片底部和ITO上加上电压，即可实现电致发光。