弹性表面波装置

摘要

本发明提供一种弹性表面波装置，其使用LiNbO3基板，所述弹性表面波装置不仅IDT的反射系数大，而且机电耦合系数k2也大，并且扩大了实现该机电耦合系数(k2)较大的范围的LiNbO3基板的欧拉角范围。所述弹性表面波装置(1)，在LiNbO3基板(2)的上表面(2a)形成有多条槽(2b)，并设置有具有由在多条槽(2b)中填充的金属材料构成的多条电极指的IDT3，该金属材料由Cu或以Cu为主体的合金构成。

主权项

一种弹性表面波装置，其特征在于， 具备： 压电基板，其由LiNbO3基板构成，并在上表面形成有多条槽； IDT，其具有由在所述压电基板的上表面的多条槽中所填充的金属材料构成的多条电极指， 所述金属材料由Cu或以Cu为主体的合金构成， 在设定弹性表面波的波长为λ的情况下，所述IDT的电极膜厚与所述LiNbO3基板的欧拉角(0°±10°，θ，0°±10°)的θ为下述表1中所示的组合的一种， [表1]  电极材料 电极膜厚 欧拉角的θ Cu 0.02λ≤Cu≤0.04λ 70°≤θ≤145° Cu 0.04λ＜Cu≤0.08λ 70°≤θ≤151° 。