| 发明名称 | 一种真空设备中热场的排气装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型属于真空设备领域，特别涉及一种用于真空设备中的排气装置。该装置是在含有热场的真空设备的炉体外壁上固定安装排气装置，其中，排气装置进气口伸入到热场内部，出气口连接真空抽气装置。本实用新型装置构思独特，方便实用，通过将真空设备内热场排气管应用在多晶硅真空熔炼提纯设备上，可以将熔炼挥发出来的杂质气体直接抽走，不污染热场，同时延长石墨和保温碳毡的使用寿命，提供一种结构简单、使用方便、成本较低的真空设备内热场的排气装置，可以延长附属产品使用寿命，可投入实际生产。 | ||
| 申请公布号 | CN203173825U | 申请公布日期 | 2013.09.04 |
| 申请号 | CN201320159869.1 | 申请日期 | 2013.04.02 |
| 申请人 | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 | 发明人 | 顾正;刘缵森;马福厚 |
| 分类号 | C01B33/021(2006.01)I | 主分类号 | C01B33/021(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种真空设备中热场的排气装置，其特征是：在含有热场的真空设备的炉体外壁（1）上固定安装排气装置，其中，排气装置进气口伸入到热场内部，出气口连接真空抽气装置。 | ||
| 地址 | 266234 山东省青岛市即墨市普东镇太阳能产业基地 | ||