发明名称 一种柔性紫外光压印复合模板及其制备方法
摘要 本发明提供一种柔性紫外光压印复合模板及其制备方法,所述复合模板为三层结构,包括柔性支撑层,中间层以及刚性结构层。所述柔性支撑层为低弹性模量高分子衬底;所述中间层为多官能度有机巯基单体与烯烃单体混合物紫外光固化交联物;所述刚性结构层为多官能度(含硅)巯基单体与(含硅)烯烃单体混合物紫外光固化交联物。所述刚性结构层表面具有微纳压印结构。本发明的柔性紫外光压印复合模板在普通实验室环境下光固化制备,无需真空或氮气保护;施行紫外光固化压印时无需机械协助,既具有柔性模板压印自适应衬底形状的优点,也具有刚性模板可复制高分辨率纳米结构的优点。
申请公布号 CN103279009A 申请公布日期 2013.09.04
申请号 CN201310234429.2 申请日期 2013.06.14
申请人 中国科学院光电技术研究所 发明人 李志炜;张满;杨勇;胡松;邱传凯
分类号 G03F7/00(2006.01)I 主分类号 G03F7/00(2006.01)I
代理机构 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人 成金玉;卢纪
主权项 一种柔性紫外光压印复合模板,其特征在于:所述复合模板为三层结构,包括柔性支撑层,中间层以及刚性结构层;所述刚性结构层表面具有微纳压印结构;所述柔性支撑层为聚氨酯、环氧树脂、聚酯、硅橡胶、聚碳酸酯(PC)、聚甲基丙烯酸甲酯、聚对苯二甲酸二甲酯(PET)、苯乙烯与丁二烯、异戊二烯共聚物、氯丁橡胶‑苯乙烯接枝共聚物或乙丙橡胶‑苯乙烯接枝共聚物的一种;所述中间层为多官能度巯基单体与烯烃单体混合物紫外光固化交联物,所述多官能度巯基单体与烯烃单体中巯基官能团与碳碳双键摩尔数之比为0.85‑1.2;所述刚性结构层为多官能度含硅巯基单体与不含硅烯烃单体、不含硅巯基单体与含硅烯烃单体、或含硅巯基单体与含硅烯烃单体混合物紫外光固化交联物;所述紫外光固化交联物弹性模量在15MPa以上,所述含硅巯基单体与不含硅烯烃单体、不含硅巯基单体与含硅烯烃单体、或含硅巯基单体与含硅烯烃单体混合物中巯基官能团与碳碳双键摩尔数之比为0.6‑1.35。
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