光学补偿单方向性之主光罩扭曲器

摘要

针对将由经图案化之一基板之一拓扑引起之聚焦误差来光学地校正藉由一微影装置所提供之图案化。藉由基于该基板之一经映射拓扑围绕一扫描轴线来扭曲一主光罩而在一交叉扫描方向上提供聚焦控制。随着扫描该主光罩，可自一场域至另一场域来更新该扭曲。该扭曲可系单方向性的(例如，仅向下)，但可包括一光学补偿元件(例如，经抛光成一圆柱形状之一透镜或镜面，或藉由一力致动器而扭曲成一圆柱形状之一透明板或镜面)，以便将正曲率或负曲率(或无曲率)引入至光束波前，藉此简化扭曲器之机电学。