| 摘要 |
Es wird ein Beugungsgitter (10) angegeben, umfassend ein Substrat (1), einen Gitterbereich (3), der in einer parallel zum Substrat (1) verlaufenden Richtung eine periodische Anordnung von ersten Bereichen (31) mit einem ersten Gittermaterial und zweiten Bereichen (32) mit einem zweiten Gittermaterial aufweist, wobei das erste Gittermaterial und das zweite Gittermaterial feste Materialien mit verschiedenen Brechungsindizes sind, und ein reflexionsminderndes oder reflexionserhöhendes Schichtsystem (4), das mindestens zwei Schichten (41, 42) mit verschiedenen Brechungsindizes aufweist, wobei das reflexionsmindernde oder reflexionserhöhende Schichtsystem (4) auf einer vom Substrat (1) abgewandten Seite des Gitterbereichs angeordnet (3) ist. Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung des Beugungsgitters (10) angegeben. |
