| 发明名称 |
DATA PERTURBATION FOR WAFER INSPECTION OR METROLOGY SETUP |
| 摘要 |
<p>Various embodiments for determining parameters for wafer inspection and/or metrology are provided.</p> |
| 申请公布号 |
KR20130096228(A) |
申请公布日期 |
2013.08.29 |
| 申请号 |
KR20137002360 |
申请日期 |
2011.06.09 |
| 申请人 |
KLA-TENCOR CORPORATION |
发明人 |
THATTAISUNDARAM GOVIND;MAHADEVAN MOHAN;GUPTA AJAY;CHEN CHIEN HUEI ADAM;KULKARNI ASHOK;KIRKWOOD JASON;WU KENONG;RONG SONGNIAN |
| 分类号 |
G06F19/00 |
主分类号 |
G06F19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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