Verfahren zum Herstellen eines Spektroskopiesensors

摘要

Ein Verfahren zum Herstellen eines Spektroskopiesensors 1 umfasst einen ersten Schritt des Bildens einer Kavitätsschicht 21 durch Nanoprägen auf einem Griffsubstrat; einen zweiten Schritt des Bildens einer ersten Spiegelschicht 22 auf der Kavitätsschicht 21 nach dem ersten Schritt; einen dritten Schritt des Bindens eines Licht transmittierenden Substrats 3 auf die erste Spiegelschicht 22 nach dem zweiten Schritt; einen vierten Schritt des Entfernens des Griffsubstrats von der Kavitätsschicht 21 nach dem dritten Schritt; einen fünften Schritt des Bildens einer zweiten Spiegelschicht 23 auf der Kavitätsschicht 21 ohne das Griffsubstrat nach dem vierten Schritt; und einen sechsten Schritt des Bindens des Lichtdetektionssubstrats 4 auf die zweite Spiegelschicht 23 nach dem fünften Schritt.