CIS晶圆成测机

摘要

本发明涉及集成电路芯片处理技术领域，公开了一种CIS晶圆成测机，包括底座和光源装置，所述光源装置安装在所述底座上，所述光源装置包括镜头安装板，在所述镜头安装板上设有多个镜头安装孔，在所述每个镜头安装孔内设置一个镜头，在所述镜头安装板的下方设置光源安装板，在所述光源安装板内设有多个光源板，所述多个光源板与所述多个镜头安装孔一一对应。本发明的滑动平台的设置使镜头与芯片的对准精确；光源的设置，使成测机结构紧凑，操作方便；镜头和光源的安装方式使镜头和光源更换时方便快速。

主权项

一种CIS晶圆成测机，包括底座和光源装置，所述光源装置安装在所述底座上，所述光源装置包括镜头安装板，在所述镜头安装板上设有多个镜头安装孔，在所述每个镜头安装孔内设置一个镜头，其特征在于：在所述镜头安装板的下方设置光源安装板，在所述光源安装板内设有多个光源板，所述多个光源板与所述多个镜头安装孔一一对应。