具有低串扰的背照明传感器

摘要

一种背照明图像传感器包括传感器层，该传感器层具有前侧及与该前侧相对的背侧。使绝缘层定位成相邻于该背侧，且电路层相邻于该前侧。第一类型导电性的多个光电检测器将入射至该背侧上的光转换为光生电荷。该光电检测器相邻于该前侧而安置在该传感器层中。第二类型导电性的区域形成于相邻于该前侧的该传感器层的至少一部分中，且被连接至电压端子用于以预定电压加偏压于该第二类型导电性区域。第二类型导电性的阱相邻于背侧而形成于传感器层中。在传感器层中的沟槽隔离开始于前侧，且延伸超过光电二极管的耗尽区域。

主权项

一种背照明图像传感器，其包括：传感器层，具有前侧及与所述前侧相对的背侧；绝缘层，相邻于所述背侧；电路层，相邻于所述前侧；第一类型导电性的多个光电检测器，用于将入射至所述背侧上的光转换为光生电荷，所述光电检测器具有耗尽区域，其中所述多个光电检测器相邻于所述前侧而安置于所述传感器层中；第二类型导电性的区域，形成于所述传感器层的相邻于所述前侧的至少一部分中，并且连接至电压端子，用于以预定电压加偏压于所述第二类型导电性区域；第二类型导电性的阱，相邻于所述背侧而形成于所述传感器层中；在所述传感器层中的沟槽隔离，所述沟槽隔离开始于所述前侧且延伸超过所述光电检测器的耗尽区域，且延伸至所述绝缘层的诸部分，所述沟槽隔离包括未延伸至所述绝缘层的诸部分，以便连接相邻光电检测器之间的背侧处的所述阱；以及所述沟槽隔离具有的第二类型导电性的内衬，所述内衬将相邻于所述前侧的第二类型导电性的区域与相邻于所述背侧的该阱相连接。