分束器件、多光束干涉光路系统

摘要

一种分束器件及多光束干涉光路系统，该分束器件包括挡光母板，位于该挡光母板上的多个圆孔，以及位于该多个圆孔中的多个分束透镜，通过该多个分束透镜实现多光束的分束，具有原理简单，分束效果可调的优点，并且产生的分束光路不需要采用多个支路进行调整，使得本发明的多光束干涉光路系统的总体结构简单并且紧凑，为多光束干涉曝光带来的新的应用前景。

主权项

一种分束器件，其特征在于：包括挡光母板，位于该挡光母板上的多个圆孔，以及位于该多个圆孔中的多个分束透镜，所述多个分束透镜具有相同的焦距，所述多个圆孔的分布满足如下的条件：该多个圆孔互不重合，该多个圆孔形成一个外接圆，该多个圆孔将该外接圆等分。