一种锰掺杂铌酸钾钠基无铅压电薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种锰掺杂的铌酸钾钠基无铅压电薄膜的制备方法，该发明是以非醇铌盐溶胶-凝胶法为基础，提供一种简单、易控制的工艺方法，首先制备稳定的锰掺杂KNN溶胶，然后在(Pt/TiO2/Ti/SiO2/Si)基片上旋涂KNN溶胶，转速为3200r/min，时间为30s，将湿膜在150℃烘干水分，然后在马弗炉中600℃保温10min；同样热处理条件，重复上述步骤8次，即旋涂8层。然后在700℃退火处理10min，最终薄膜厚度2～4μm，所得到的薄膜致密性好、漏电流性能得到改善。

主权项

一种锰掺杂铌酸钾钠基无铅压电薄膜的制备方法的特征在于：a、本溶胶凝胶法采用二次沉淀的(Nb(OH)5)为铌源，使其与柠檬酸发生络合反应；b、通过向柠檬酸铌溶液中加入Mn离子，制备出锰掺杂的KNN前驱体溶胶。c、通过乙二醇酯化形成凝胶网络，加入PVP增加溶液的粘度，降低其热处理温度。