垂直照明暗场显微镜

摘要

本发明给出了一种垂直照明的暗场显微系统。该显微镜包含：照明光源及准直光学系统，用于会聚入射光的长工作距离聚光镜，用于反射所会聚入射光束的小尺寸平面反射镜及镜架，用于收集散射光的大数值孔径长工作距离物镜，用于对所收集散射信号进行成像的光学系统以及成像CCD。现有的倾斜照明暗场显微镜具有一个严重问题：在观察暗场信号或者进行光谱分析时，所得结果容易受到衬底的影响。本发明垂直照明暗场显微镜可以解决这个问题，获得单纯由结构、瑕疵和边界等产生的信号。此为，本发明同时具有透射和反射两种工作方式，在对于微纳米结构进行分析时可以提供更多的信息。

主权项

一种垂直照明的暗场显微镜，其部件包括：照明光源及准直光学系统，长工作距离聚光镜用于会聚入射光，用于反射所会聚入射光束的小尺寸平面反射镜及镜架，用于收集散射光的大数值孔径长工作距离物镜，用于对所收集散射信号进行成像的光学系统以及成像CCD。