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Device and method for optically inspecting an object
摘要
申请公布号
EP2251639(B1)
申请公布日期
2013.08.28
申请号
EP20100004908
申请日期
2010.05.10
申请人
CARL ZEISS OIM GMBH
发明人
KNUPFER, KLAUS-GEORG;REIMANN, JOACHIM;BECK, ROLF
分类号
G01B11/25;G01N21/88;G01N21/95
主分类号
G01B11/25
代理机构
代理人
主权项
地址
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