摘要 |
Виброчастотный микромеханический акселерометр, содержащий основание, инерционную массу, упругие элементы, резонатор с системой возбуждения емкостного типа, отличающийся тем, что инерционная масса выполнена с двух сторон, сформирована внешняя рамка, на поперечной оси которой сформированы консоли с площадками крепления к основанию и Т-образными сквозными щелями. |