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Bekannte Vorrichtungen zur Wärmebehandlung, umfassen einen von einer Ofenauskleidung aus Quarzglas umgebenen Prozessraum, eine Heizeinrichtung und einen Reflektor. Um hiervon ausgehend eine Vorrichtung zur Wärmebehandlung mit einer Ofenauskleidung bereitzustellen, die einfach und in variabler Form zu fertigen ist, die ein schnelles Aufheizen und Abkühlen des Heizgutes und kurze Prozesszeiten ermöglicht und sich durch eine lange Lebensdauer auszeichnet, wird vorgeschlagen, dass die Ofenauskleidung mehrere Wandungselemente mit einer dem Prozessraum zugewandten und einer dem Prozessraum abgewandten Seite umfasst, und dass mindestens eines der Wandungselemente mehrere Quarzglasrohre aufweist, die über eine SiO2-haltige Verbindungsmasse miteinander verbunden sind. |
