避免气体占据热玻璃片之刻划制程中所使用之喷嘴的方法及设备

摘要

一喷嘴被用在雷射刻划制程或其他高能量玻璃加热制程期间淬冷一热玻璃片的制程中。刻划是藉由高能量装置(例如雷射)来实施。喷嘴位在靠近玻璃片处，产生了在用来淬冷该玻璃且位在喷嘴内之液体(例如水)中的气体。气体(例如空气气泡)是从淬冷液体被移除。接着，喷嘴用来将淬冷液体喷洒到片上之依循该片之雷射刻划的位置处，例如在拉伸件之底部处使用一行进砧板机器。喷嘴(净化喷嘴)具有一净化开口以及导向排放位置的管路。喷嘴可以具有一倾斜通道，其将喷嘴中靠近净化开口处的空气气泡预显现。喷嘴可以包括一绕着喷嘴通道通过的冷却线圈，其使冷却剂沿着线圈移动。这冷却了通过喷嘴的淬冷液体，并且增加了气泡在喷嘴中之淬冷液体中的溶解度。一气体过滤器可以从加压淬冷液体来源接收富含气体之淬冷液体、从该液体移除气体、以及传送耗尽气体之淬冷液体到喷嘴。