表面形状之测定方法及使用该方法之装置

摘要

藉由以相对于光之行进方向倾斜任意角度之倾斜姿势配备参考平面，而藉由自测定对象面及参考平面返回相同光路之反射光来产生干涉条纹。该干涉条纹之各像素的强度值系由CCD相机进行拍摄，CPU系利用求取干涉条纹波形之表达式，于算出每个对象像素，利用各个像素之强度值及其隣近之像素的强度值，并假定含于各像素中之干涉条纹波形之直流成分、交流振幅及相位等参数，求取各像素之干涉条纹波形的相位，致可换算成高度而以测定出表面形状。