发明名称 感光性树脂组合物
摘要 本发明之感光性树脂组合物之特征在于:相对于(A)具有下述通式(1)所示羟基醯胺结构之硷性水溶液可溶性聚合物100质量份,包含(B)光酸产生剂1~50质量份、(C)下述通式(2)所示化合物1~40质量份:;(1);{式中,X1为具有至少2个碳原子之4价有机基,Y1为具有至少2个碳原子之2价有机基,并且m1为1~1000之整数};;(2);{式中,D1具有至少1种选自由氢原子、碳数1~6之烷基、烯基、及可交联之有机基所组成群中的官能基,M1表示选自由-CH2-、-O-及-S-所组成群中之基,Z1为2价有机基,n1为0~4之整数,且在有复数个D1时,复数个D1可相同亦可不同}。
申请公布号 TWI406089 申请公布日期 2013.08.21
申请号 TW098117856 申请日期 2009.05.27
申请人 旭化成电子材料股份有限公司 日本 发明人 涉井智史
分类号 G03F7/004;G03F7/022;C08G73/10 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本