薄膜沈积装置

摘要

本发明提供一种薄膜沈积装置，包含复数个指叉式电极，搭配一射频电流供应器、信号调整器以及复数个频率震荡器所组成。该薄膜沈积装置可以在装置之腔体内部可产生大面积均匀之电浆，以适用于各种光电薄膜材料之沈积。