压电振荡器和制造压电振荡器的方法

摘要

本发明涉及压电振荡器和制造压电振荡器的方法。该压电振荡器能够在不使用具有小光斑直径的昂贵激光修整设备的情况下，进行精细修整调整和高度精确地调整频率。该方法包括：第一步骤，其中以小于与激光的光斑直径匹配的除膜光斑的直径的节距在质量调整膜上形成第一光斑行；以及第二步骤，其中根据调谐叉形晶体振荡片的目标频率对到第一光斑行的行间隔进行调整，来形成第二光斑行以及之后的光斑行，顺序进行这些步骤，由此进行精细修整调整。

主权项

一种压电振荡器，该压电振荡器包括：配重部分，所述配重部分具有在调谐叉形晶体振荡片的振荡臂上层叠的、用于频率调整的质量调整膜，其中所述配重部分形成有多个除膜光斑，在所述除膜光斑中，与激光施加的光斑直径对应地部分去除了所述质量调整膜，由此进行调整，从而所述调谐叉形晶体振荡片的频率成为目标频率，其中在所述质量调整膜上，设置有多个光斑行，该光斑行的除膜光斑以小于所述除膜光斑的直径的节距设置，以及所述多个光斑行之间的行间隔以小于所述除膜光斑的直径的间隔设置，并根据所述调谐叉形晶体振荡片的目标频率调整，以顺序使得所述多个光斑行之间的行间隔变窄，其中，所述节距为光斑行中的相邻光斑的中心之间的距离，其中，所述行间距为相邻光斑行的中心线之间的距离。