| 发明名称 | 有机层沉积设备和利用其制造有机发光显示设备的方法 | ||
| 摘要 | 公开了一种有机层沉积设备和一种利用该有机层沉积设备制造有机发光显示设备的方法。有机层沉积设备包括：运输器，包括安装有用来形成有机层的基板的吸盘；扫描单元，包括用来排放沉积原料的沉积单元和具有多个图案化缝隙的图案化缝隙片，图案化缝隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上比基板小；室，容纳运输器和扫描单元，扫描单元被布置成与基板隔开并且能够相对于运输器移动。 | ||
| 申请公布号 | CN103255371A | 申请公布日期 | 2013.08.21 |
| 申请号 | CN201210520107.X | 申请日期 | 2012.12.06 |
| 申请人 | 三星显示有限公司 | 发明人 | 康熙哲;金钟宪;蒋允豪;张锡洛;卢喆来 |
| 分类号 | C23C14/12(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人 | 王占杰;张川绪 |
| 主权项 | 一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：运输器，包括安装有用来形成有机层的基板的吸盘；扫描单元，包括用来排放沉积原料的沉积单元和具有多个图案化缝隙的图案化缝隙片，图案化缝隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上比基板小；以及室，容纳运输器和扫描单元，其中，扫描单元被布置成与基板隔开并且能够相对于运输器移动。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道龙仁市 | ||