发明名称 | 集成电路的氢钝化 | ||
摘要 | 本发明涉及一种带有钝化捕获层的集成电路,带有在钝化捕获层下面的氢或氘释放层的集成电路,用于形成具有氢或氘释放层的集成电路的方法,以及用于形成具有钝化捕获层的集成电路的方法。 | ||
申请公布号 | CN103262223A | 申请公布日期 | 2013.08.21 |
申请号 | CN201080070608.1 | 申请日期 | 2010.12.09 |
申请人 | 德克萨斯仪器股份有限公司 | 发明人 | G·B·巴瑟姆;S·R·萨默菲尔特;T·S·莫伊兹 |
分类号 | H01L21/3205(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/3205(2006.01)I |
代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人 | 赵蓉民 |
主权项 | 一种集成电路,包括:基底;联接至所述基底的晶体管;联接至所述基底的金属沉积前电介质层;以及覆盖所述金属沉积前电介质层的钝化捕获层。 | ||
地址 | 美国德克萨斯州 |