发明名称 集成电路的氢钝化
摘要 本发明涉及一种带有钝化捕获层的集成电路,带有在钝化捕获层下面的氢或氘释放层的集成电路,用于形成具有氢或氘释放层的集成电路的方法,以及用于形成具有钝化捕获层的集成电路的方法。
申请公布号 CN103262223A 申请公布日期 2013.08.21
申请号 CN201080070608.1 申请日期 2010.12.09
申请人 德克萨斯仪器股份有限公司 发明人 G·B·巴瑟姆;S·R·萨默菲尔特;T·S·莫伊兹
分类号 H01L21/3205(2006.01)I 主分类号 H01L21/3205(2006.01)I
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人 赵蓉民
主权项 一种集成电路,包括:基底;联接至所述基底的晶体管;联接至所述基底的金属沉积前电介质层;以及覆盖所述金属沉积前电介质层的钝化捕获层。
地址 美国德克萨斯州