在衬底上制备多层覆层的方法和装置

摘要

本发明涉及一种制备衬底的方法，该衬底包括固体载体和位于所述载体上的多个层；一个层由金属氧化物粒子的薄膜构成；一个层由一种或多种金属的薄膜或者由一种或多种金属的分散纳米粒子构成。所述方法包括以下步骤：a)-将加热的固体载体伴随一种或多种金属氧化物的先驱物溶液浸渍在超临界流体中，并且将金属氧化物粒子的均匀且连续薄膜、或者均匀分散的金属氧化物粒子沉积在载体上或垫层上；b)-从一种或多种先驱物，通过化学气相沉积CVD，将一种或多种金属的连续或断续薄膜、或者一种或多种金属的分散纳米粒子沉积在载体上或垫层上；步骤a)和b)被实现在同一壳体，同一反应器内。

主权项

一种制备衬底的方法，所述衬底包括固体载体和位于所述载体上的多个层；‑在载体或在垫层上，至少一层由一种或多种金属氧化物的粒子的均匀且连续薄膜、或者由一种或多种金属氧化物的均匀分散的粒子构成；‑在载体或在垫层上，至少一层由一种或多种金属或者一种或多种金属合金的连续或断续薄膜、或者由一种或多种金属或者一种或多种金属合金的分散纳米粒子构成；所述方法包括以下步骤：a)‑将加热的固体载体或已经沉积的垫层连同一种或多种金属氧化物的先驱物溶液浸渍在超临界流体中，并且将一种或多种金属氧化物的粒子的均匀且连续薄膜、或者一种或多种金属氧化物的均匀分散的粒子沉积在所述载体或所述垫层上；b)‑从一种或多种先驱物，通过化学气相沉积CVD，将一种或多种金属或者一种或多种金属合金的连续或断续薄膜、或者一种或多种金属或者一种或多种金属合金的分散纳米粒子沉积在所述载体或垫层上；所述步骤a)和b)被实现在同一壳体或同一反应器内，其中所述一种或多种金属氧化物的先驱物在有机金属化合物和金属盐中选择，所述超临界流体在二氧化碳，六氟化硫，氧化二氮，一氧化二氮，具有1至6个碳原子的低碳烷烃，具 有1至5个碳原子的烯烃，以及一些有机液体中选择，在所述步骤b)中，所述先驱物在有机金属化合物和金属盐中选择。