用于在其加工过程中传送太阳能晶圆或太阳电池的装置

摘要

本发明公开了一种用于传送太阳能晶圆或电池的装置，该装置包含有：i）旋转马达；ii）夹具，用于通过夹持该太阳能晶圆或电池；以及旋转臂，其连接在旋转马达和夹具之间，该旋转臂被旋转马达在第一旋转方向上驱动一传送角度，以在不同的位置之间传送该太阳能晶圆或电池；尤其是该装置还包含有角度补偿设备，其被配置来驱动该夹具在第二旋转方向上旋转通过与旋转臂相同的传送角度，该第二旋转方向和第一旋转方向相反，以在旋转臂的旋转期间确保太阳能晶圆或电池的角度方位保持不变。

主权项

一种用于传送太阳能晶圆或电池的装置，该装置包含有：旋转马达；夹具，其被配置来夹持该太阳能晶圆或电池；以及旋转臂，其连接在旋转马达和夹具之间，该旋转臂被旋转马达在第一旋转方向上驱动通过一传送角度，以在不同的位置之间传送该太阳能晶圆或电池；以及角度补偿设备，其被配置来驱动该夹具在第二旋转方向上旋转通过与旋转臂相同的传送角度，该第二旋转方向和第一旋转方向相反，以致于在旋转臂的旋转期间太阳能晶圆或电池的角度方位保持不变。