发明名称 具有多个入口的高精度质量流量检验器
摘要 公开了一种用于检验由流体输送设备进行的流量测量的高精度质量流量检验器(HAMFV),其提供在具有低入口压强的宽流量检验范围上的高测量精度。HAMFV包括界定具有上游阀的数量为N的入口的腔室、具有下游阀的出口、构造成分别测量腔室内的流体的压强和温度的压强传感器以及温度传感器。数量为N的临界流量喷嘴放置在相应上游阀附近。HAMFV进一步包括控制器,该控制器构造成根据期望的流量检验范围和流体类型,通过打开相应的上游阀并关闭其它所有的上游阀来启动数量为N的临界流量喷嘴中的一个。数量为N的临界流量喷嘴中的至少两个具有不同的截面面积。
申请公布号 CN101978245B 申请公布日期 2013.08.21
申请号 CN200980109388.6 申请日期 2009.01.21
申请人 MKS仪器公司 发明人 丁军华;K·扎尔卡
分类号 G01F25/00(2006.01)I 主分类号 G01F25/00(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 蔡胜利
主权项 一种质量流量检验器,用于检验由流体输送设备进行的流体的流量测量,所述质量流量检验器包括:腔室,其界定数量为N的入口,所述腔室构造成在所述入口中的每个处接收来自所述设备的流体的流;压强传感器,其构造成测量所述腔室内的所述流体的压强;数量为N的临界流量喷嘴,每个临界流量喷嘴位于所述入口中的对应一个附近,每个临界流量喷嘴沿着从所述设备穿过对应入口至所述腔室的所述流体的流动路径位于所述腔室的上游;其中,对于所有的i而言,第i个临界流量喷嘴构造成在关于所述第i个临界流量喷嘴的临界流量时期tcf,i内保持流过所述第i个临界流量喷嘴的流体的流率基本上恒定,其中i=1,…,N;并且基本上不受所述腔室内的压强变化影响,以及所述的质量流量检验器进一步包括控制器,所述控制器被构造成根据期望的流率检验范围以及根据所述流体的流体类型来选择性地启动所述数量为N的临界流量喷嘴中的一个,以便由所述质量流量检验器进行流量检验操作。
地址 美国马萨诸塞州